FS4008微型(xing)氣體質(zhi)量流量(liàng)計

産品(pin)時間：2025-12-01

簡(jian)要描述(shù)：

FS4008微型氣(qì)體質量(liang)流量計(jì)，0-20SLPM微型氣(qì)體質量(liàng)流量計(ji)是采用(yong)*的微機(jī)☎️電❄️系統(tong)（MEMS）流量傳(chuán)感器技(ji)術和智(zhi)能電子(zǐ)控🛀🏻制技(ji)術，專📞爲(wèi)普通氣(qì)體流量(liang)監測開(kāi)發的産(chan)品。該傳(chuan)感器能(néng)直接測(ce)🈲量氣體(tǐ)質量流(liú)量，低壓(ya)損。适用(yong)于淨化(hua)空氣或(huò)氮氣流(liu)量監控(kong)，還可用(yòng)于環境(jìng)采樣器(qì)（如色譜(pu)分析儀(yi)⁉️器等）

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詳細(xi)介紹

FS4008微(wei)型氣體(tǐ)質量流(liu)量計 ，0-20SLPM微(wēi)型氣體(tǐ)質量流(liú)量計

FS4008微(wei)型氣體(tǐ)質量流(liu)量計 ，0-20SLPM微(wei)型氣體(ti)質量流(liú)量計

詳(xiang)細介紹(shào)：

FS4000 系列微(wēi)型氣體(ti)質量流(liú)量計是(shi)采用*的(de)微機電(dian)系統（ MEMS ）流(liú)量傳感(gǎn)器技術(shù)和智能(néng)電子控(kòng)制技術(shù)，專爲普(pu)通氣體(ti)流量監(jiān)測開發(fā)的産品(pin)。該傳感(gǎn)器能直(zhi)接測量(liang)氣體質(zhi)量流量(liàng)，低壓損(sun)。适用于(yu)淨化空(kōng)氣或氮(dàn)氣流量(liàng)監控，還(hai)可用⭐于(yú)環境采(cai)樣器👣（如(rú)色譜分(fen)析儀器(qi)等）

FS4003 流量(liàng)傳感器(qì)，管道内(nèi)徑爲 3mm ，成(cheng)本低測(cè)量範圍(wéi)zui大到 5SLPM ；适(shì)用于粒(lì)子計數(shù)器和各(ge)類分析(xi)儀器。

FS4008 流(liu)量傳感(gǎn)器，管道(dao)内徑爲(wei) 8mm ，測量範(fàn)圍zui大到(dào) 50SLPM ；可用于(yu)麻醉設(she)備、潔淨(jìng)氣體檢(jian)測，如：空(kong)氣采樣(yang)機，氣㊙️體(tǐ)分析儀(yi)等

産品(pǐn)特點:

- 專(zhuan)爲管徑(jìng) 3mm 和 8mm 的氣(qì)管中的(de)低壓氣(qi)體流量(liàng)測量而(ér)設計

- 在(zai)單個芯(xin)片上實(shi)現了多(duō)傳感器(qì)集成，使(shi)其量程(chéng)比☁️達到(dao)了 100:1 甚至(zhì)更高

- 輸(shu)出方式(shi)靈活，既(jì)可通過(guo)通訊接(jie)口主動(dong)上傳數(shù)據或由(yóu)上📱位機(jī)查詢輸(shu)出數據(jù)，也可通(tong)過模拟(ni)接口輸(shū)出線性(xìng)的模拟(ni)‼️電壓

- 全(quan)量程高(gao)穩定性(xìng)、高精确(que)度和優(yōu)良的重(zhòng)複性

- 低(di)功耗、低(dī)壓損

機械(xiè)尺寸 :

性(xing)能參數(shu)	FS4003	FS4008	單位
通(tong)徑	3	8	mm
zui大流(liú)量	2, 3, 4, 5	10, 20, 30, 40, 50	SLPM
量程(chéng)比	＞ 100:1
精度(du)	±（1.5+0.2FS）		%
重複性(xìng)	0.5		%
零點輸(shū)出飄移(yí)	±30		mV
輸出飄(piao)移	0.12		%/^oC
響應(yīng)時間	10 （默(mo)認、 20 、 50 、 100 、 200 、 500 、 1000 可設(she)置）		ms
工作(zuo)電源	8~24Vdc,50mA
輸(shu)出方式(shì)	線性， RS232/ 模(mó)拟電壓(yā) 0.5~4.5Vdc
zui大流量(liàng)壓損	100	600	pa
zui大(da)工作壓(yā)力	0.5		MPa
工作(zuò)溫度	-10 ~ +55		^oC
存(cún)儲溫度(du)	-20 ~ +65		^oC
工作濕(shi)度	<95%RH （無結(jie)冰、無凝(níng)露）
機械(xiè)接口	BSPT1/4（R1/4）,4mm/6mm/8mm 快(kuai)速接頭(tou)
校準方(fāng)式	空氣(qi)（或其他(ta)氣體）， 20^oC ， 101.325kPa
重(zhòng)量	52 （帶 R1/4,BSPT1/4 接(jiē)口） 71（帶 4mm ， 8mm 快(kuai)速接口(kǒu)， 68 （帶 6mm 快速(su)接頭）		g