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氣體流量監測(ce)傳感器
産品時(shí)間：2025-12-01
簡要描述：
産品簡介：
FS4001系列(liè) 氣體流量監測(ce)傳感器 是(shì)專門爲各類小(xiao)流量氣體的測(ce)量和過程控制(zhi)而設💁計🙇🏻的。這🔱一(yī)系列傳感器均(jun)采用本公司自(zi)主研發的微機(ji)電👈系統（ MEMS
FS4001系列 氣體(tǐ)流量監測傳感(gan)器
産品特(te)點：
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傳感器(qi)靈敏度高
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傳感(gǎn)器芯片采用熱(rè)質量流量計量(liàng)
無需溫度(du)壓力補償
保證了傳
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使傳感(gan)器的量程比大(dà)大提高
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全(quán)量程高穩定性(xìng)
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全量程高(gāo)精确度和優良(liáng)的重複性
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響應(yīng)時間快
機(jī)械尺寸：
主要參數：
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單位 |
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1.0 |
1.8 |
mm |
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30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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0.25 |
%讀數 |
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零點輸出(chū)飄移 |
mV |
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輸出飄移(yí) |
±0.12 |
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作(zuò)電源 |
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輸出方式(shi) |
線性，RS232/模拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc |
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大流量壓損 |
350 |
300 |
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大(dà)工作壓力 |
0.5 |
MPa |
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-10 ~ +55 |
oC |
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存儲溫度(dù) |
-20 ~ +65 |
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工作濕度 |
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機械(xiè)接口 |
可拆式軟(ruan)管接頭 |
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校準方(fang)式 |
空氣（或其他(ta)氣體），20oC，101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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下一(yī)篇：FS4003微小氣體質(zhi)量流量傳感器(qì)
