産品時間(jiān):2025-12-21
mf4001廣東微(wēi)小口徑氣體質量(liàng)流量計是專門爲(wèi)各類小流量氣體(ti)的測量和過程控(kong)制而設計的。這一(yī)系列傳感器均采(cai)用本公司自❄️主研(yán)發的微機電系統(tong)(MEMS)流量傳感芯片來(lái)制作,适用于各類(lèi)清潔💞氣體。*的封裝(zhuāng)🧑🏾🤝🧑🏼技術使之可用于(yu)各類管徑,成本低(dī)、易安裝、不需要溫(wēn)度壓力補償,可替(tì)代容積式或壓差(chà)式的傳統流量傳(chuán)感器。

|
性能參數(shù) |
FS4001 |
單位 |
|
|
通 徑 |
1.0 |
|
mm |
|
大流量(liang) |
|
500, 1000 |
SLPM |
|
|
>100:1 |
|
|
|
精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
||
|
重複(fú)性 |
0.25 |
%讀數 |
|
|
零點輸出(chu)飄移 |
|
mV |
|
|
輸出飄移 |
±0.12 |
%/oC |
|
|
響(xiǎng)應時間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
|
|
工作電源(yuán) |
8~18Vdc,50mA |
|
|
|
輸出方式 |
線性,RS232/模(mo)拟電壓0.5~4.5Vdc |
|
|
|
大流量壓(yā)損 |
|
|
pa |
|
大工作壓力 |
MPa |
||
|
工(gōng)作溫度 |
-10 ~ +55 |
oC |
|
|
存儲溫度(du) |
-20 ~ +65 |
oC |
|
|
|
<95%RH(無結冰(bing)、無凝露) |
|
|
|
機械接口(kou) |
可拆式軟管接頭(tóu) |
|
|
|
校準方式 |
空氣(或(huò)其他氣體),20oC,101.325kPa |
|
|
|
15 |
g |
||
•·