産品時(shí)間:2025-12-21
siargo ltd fs4001小流量(liang)氣體質量(liang)流量傳感(gǎn)器是專門(mén)爲各類小(xiao)流🔆量氣體(ti)🏃🏻的測量和(he)過程控制(zhì)而設計的(de)。這一系列(liè)傳感器均(jun1)采用本公(gong)司自主研(yán)發的微機(jī)電系統(MEMS)流(liú)量💋傳感芯(xīn)片來制🐆作(zuò),适用于各(gè)類清潔氣(qì)🔞體。*的封裝(zhuang)技術使之(zhī)可用于各(gè)類管徑,成(chéng)本低、易安(an)裝、不需要(yao)溫度壓力(lì)補償,可替(tì)代容積❤️式(shi)或壓差式(shi)的傳統流(liú)量🌈傳感器(qì)。
fs4001小流量(liang)氣體質量(liang)流量傳感(gǎn)器
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性(xing)能參數 |
FS4001 |
單(dān)位 |
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1.0 |
1.8 |
mm |
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SCCM |
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量程(cheng)比 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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重(zhong)複性 |
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±30 |
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±0.12 |
%/oC |
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4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
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工作(zuo)電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸出(chu)方式 |
線性(xìng),RS232/模拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc |
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大流量壓(ya)損 |
350 |
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pa |
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大工作(zuò)壓力 |
0.5 |
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-10 ~ +55 |
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存儲(chu)溫度 |
-20 ~ +65 |
oC |
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工作(zuò)濕度 |
<95%RH(無結(jié)冰、無凝露(lu)) |
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機械接口(kǒu) |
可拆式軟(ruǎn)管接頭 |
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校(xiao)準方式 |
空(kong)氣(或其他(ta)氣體),20oC,101.325kPa |
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重量(liang) |
15 |
g |
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